螺杆泵

全国免费热线: 400-0011-1159
导航菜单

公司新闻

技术需求推荐

企业名称

沈阳芯源微电子设备有限公司

所属一级领域

1.电子信息

所属二级领域

102.IC装备及技术

技术需求

半导体湿法设备供液管路除气泡问题:

目前半导体湿法设备例如刻蚀机、去胶机等,一般采用隔膜泵泵送药液到喷嘴端的供液方式,也有一部分采用气体(通常是氮气)向密封罐加压将药液压出的方式。对于隔膜泵的方式,当药液有自发性分解气泡时(如双氧水作为药液,其自身不断分解出气泡),管路内会聚集大量气泡,导致喷嘴端药液流量不稳定甚至大气泡堵塞流量计等现象;对于压力罐供液的方式,有一些药液(例如IPA,即异丙醇)容易溶解气体,导致药液含有大量气泡而造成药液阀关闭后还有药液从喷嘴流出,造成浪费或对产品产生影响。是否有办法解决药液中的气泡问题?

匀胶设备热盘单元厚胶烘烤工艺:

后道匀胶工艺中涂布的光阻厚度大,含有溶剂量多,在烘烤时挥发出的溶剂容易在热盘顶盖凝结滴落造成不良,已经做过的改良有增加上盖加热功能,使凝结量变小;增大热盘排风,将挥发出的溶剂抽走等等改善,效果仍不明显(客户一般要求一周清洁一次,目前一天清洁一次)。考虑过将凝结的溶剂收集一下,但限于空间,实施难度较大。目前仍无好对策。

人才、资金等其他需求

芯源公司在技术方面现需集成电路领域的实用性人才,如在机械结构方面、半导体制程方面、半导体工艺方面的业内人士,可带领团队完成研发任务,提高公司产品的研发设计水平和工艺指标,需求人数5人。在管理及销售方面需要行业内资深销售人员、资深质量管理人员、资深技术管理人员,整体提升公司管理水平及体系建设。

自沈阳市二十四条新政出台后,各项政策的针对人群、申报指南已很完善、操作性很强,我司正积极争取各项奖励项目,无其他需求。

免责声明:此文章(图片)来源于网络,版权归作者所有,如有版权问题请作者尽快告知我们,我们将尽快删除相关内容!