螺杆泵

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螺杆泵知识

低压扩散炉用普兰德隔膜泵维护保养手册

1. 总则

1.1 适用范围

本规程适用于在低压扩散炉上的普兰德耐腐蚀变频隔膜泵MD 4C NT VARIO的维护和检修。

10个月维护一次。

无锡华源晶电科技有限公司提供普兰德新泵产品销售,维护保养,相关备品备件服务。

我司提供的新泵质保12个月,旧泵维修质保8个月。

1.2  结构简述

MD 4C NT VARIO有真空主泵和真空控制器两部分组成。具体部件见下图:

1.3 设备性能

设备性能见下表:

1.4 设备及环境

* 如果抽取潜在爆炸性气氛:50

o

F 至 104

o

F (+10

o

C 至 +40

o

C)

2. 设备维护

2.1 日常维护

2.2 定期检查内容

2.3 常见故障处理方法

3. 维护周期和维护内容

3.1 维护周期

3.2 维护内容

4. 维护安全注意事项

在开始维护之前,请阅读此章节“更换隔膜和阀门的方法”

图片可能是其他版本的泵。更换隔膜和阀门的方法是一样的。

如果外壳或者泵的其他部件被拆解了,绝对不能再运行该泵。

*在开始维护前,将泵的电源断开,等待两分钟,使电容器放电。

*确保泵不会意外开启。

*注意:泵可能被操作过程中抽取的化学物质污染。确保泵在维修前已清理。

*避免释放出污染物。

不可运行一个有缺陷或者已损坏的真空泵。

· 采取足够的防护措施保护人员免受污染物的危害(如果泵已被危险物质污染)。确保维护工程师熟悉真空系统相关产品的安全程序。

当要接触被污染的组件时,穿戴适当的防护服。

在开始维护前,将泵放气并将其与真空系统隔离。

确保只有培训好的、有经验的技师来进行维护。

阀片和隔膜是易耗品。如果额定的极限真空不能在达到,或噪音值增高,必须清理泵的内部,隔膜和阀片,需检查隔膜或阀片是否有开裂或损坏。

所有的轴承都被包覆的并注入长寿命润滑剂。在正常的操作条件下,泵免维护。

- 防止内部产生冷凝,不能传输液体或粉体。如果抽入的液体量很大,可能会使隔膜或阀片破损。

- 如果泵接触腐蚀性介质或如果有沉淀,需要经常进行维护。

- 定期的维护可以延长泵的使用寿命,同时保护人员和环境。

5. 维护方法

5.1 维护工具

所需工具(公制的):

- 英制螺丝刀TX 20

- 5号六角扳手

- 扁口螺丝刀2.5mm

- 平口钳子

5.2 维护注意事项

隔膜的更换和阀片的更换可以分别进行。

换阀片时,将泵侧的泵头盖卸下,将阀门盖和配件拆下维护

在维护隔膜时,阀门盖和配件不需要拆开。泵头盖可以和链接的组合的阀门盖和配件一起被拆下。

一次进维护泵的一边。

5.3 真空泵连接件和管路示意图

5.4 泵头部件拆解图

5.5 更换隔膜

5.6 更换阀门

公司简介

无锡华源晶电科技有限公司是一家光伏设备及绿色能源产业专用设备供应商,集开发、生产、销售为一体的专业光伏工艺设备生产制造厂家,本公司现有30多名技术人员均具有多年从事光伏、半导体装备的专业设计制造经验。

无锡华源晶电科技有限公司目前主营业务为制造销售1600片大产能管式低压扩散炉、PECVD背钝化设备,N-TOPCon高效电池薄氧化工艺设备与LPCVD工艺设备;同时有低压扩散改造项目,管式PE升级PERC项目。

无锡华源晶电科技有限公司技术力量雄厚,各类专业技术人员齐全,具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。公司以“致力于热能技术、热能工程;提供一流的解决方案”为企业核心使命,为携手振兴中国制造事业而贡献力量。

无锡华源晶电科技有限公司制造生产的1600片低压磷扩散设备

技术优势

 (1)低压磷扩散设备,高片内,片间和批次间均匀性,满足SE工艺;

(2)超过260管低压扩散制造经验,接近30家低压扩散合作客户

(3)高产能,1600片/管,5管/台,单台产能6000片每小时

(4)设备中国制造生产,制造工厂位于江苏无锡,提供及时可靠的客户技术服务;